（1）抽气速率：真空泵的抽气速率也叫生产能力，在一定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走气体的体积，单位m3/s或m3/h表示。
（2）残余压力：也叫极限真空即真空泵能达到稳定状态下的zui低压力，单位“torr”或%表示。1torr=1/760atm=133.3pa。
（3）抽气量：在一定温度下，真空泵在单位时间内能从设备内抽走气体量叫抽气量，单位m3/h。
（4）起动压力：真空泵开始工作时的压力。
力士乐rexroth真空泵选用原则
（1）真空泵的结构：抽腐蚀性气体，必须要求真空泵用耐腐蚀材料或衬耐腐蚀材料制成。抽与油起作用的气体，不能选择使用润滑油的真空泵。
（2）满足工艺要求：如减压塔顶不凝气体的量很大，必须选用蒸汽喷射真空泵，因为它具有真空度高，结构简单，操作方便等特点，在减压塔内造成很高真空，有利于在减压下分馏，保证了产品质量。
（3）足够的抽气速率：在允许的时间内，能把需要抽走的气体抽出，才能保证生产的正常进行。
（4）工作时间：连续工作时间能保证一个工艺循环的基本要求，不能因为连续工作时间短而影响生产。