电解制氢装置生产的氢气中含有饱和状态的水和一定量的氧气，必须设置氢气纯化设备进行纯化处理方能满足对氢气纯度有较高要求的用户，尤其是半导体公司的晶圆生产线，只有高纯度的氢气才能帮组其生产出合格的产品。深圳市瑞麟科技有限公司代理美国aet公司的低温高压氢气纯化器，该公司的设计和制造的产品可为用户量身定制，满足客户对高压工作条件下的氢气纯化要求。
应用范围
电子、半导体、led和多晶硅等行业
工作原理
该纯化系统中包含多个换热器用于降低气体温度，在低温高压下，将硅胶至于液氮中用作催化剂实现氢气提纯。
具体工作原理如下：
含杂质的氢气/氦气流入纯化器并分成两股。 一股气流流经换热器ⅰ, 与返回的纯氢气/氦气交换热量且被冷却。 另一股较小的气流流入换热器ⅱ，并与离开换热器ⅲ的氮气逆流交换热量被冷却。这两股气流重新汇合后流入换热器ⅲ内的浸没在液氮中的盘管中, 在那里它被冷却到液氮的温度。
然后它进入分离器中去除液氮或液氧的液滴。分离器中的液位由液位控制器实时监测, 液滴被收集后排出。换热器ⅲ中的液氮吸收热量产生氮气, 氮气逆向流入换热器ⅱ中, 冷却进入换热器ⅱ的非纯气体。
含杂质的氢气/氦气继续流动并进入吸附器的硅胶冷却床, 硅胶在这里起到吸附的作用, 气体中的杂质被吸附到硅胶的表面, 气体得到纯化。
被纯化的气体离开硅胶床并返回换热器ⅰ，在那里与较大的含杂质气流进行热交换并作为纯净气体输出。
aet司开发了几个主要型号的高压氢气/氦气纯化器，除表a1外，也提供定制产品。 aet现有的高压氢气/氦气纯化器由表a1所示。表a2提供了高压氢气/氦气纯化器的一些可选配件。
a1 高压氢气/氦气纯化器
型号 "a" (<100ppm)
型号 "b" (>100ppm)
流量 (nm3/hr)
0-150
151-250
0-150
151-250
分离器
no
no
yes
yes
真空管
yes
yes
yes
yes
加热装置
yes
yes
yes
yes
再生过程
半自动
半自动
半自动
半自动
压力
3000psig 过程气
3000psig 过程气
3000psig 过程气
3000psig 过程气
表a2：高压纯化器的可选配置
控制元件
自动、半自动或者手动
吸附媒介
活性碳 、二氧化硅、氧化铝、沸石
去油装置
有或无
去水装置
有或无
真空容器材质
碳素钢或不锈钢
排放管
不锈钢，抛光，电解抛光
吸附器 标准
ped、asme、中国、俄罗斯、日本
单位数量
1.2.3等
深圳市瑞麟科技有限公司
13828890256
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